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凈化設(shè)備干貨

半導(dǎo)體潔凈室潔凈車間(電子廠潔凈室等級(jí)及潔凈標(biāo)準(zhǔn))

作者:深圳茗智凈化  發(fā)布時(shí)間:2023-08-01

  無塵車間是可以分成幾個(gè)等級(jí)的,十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等,現(xiàn)下的芯片可以說是非常火熱的產(chǎn)品,因?yàn)楹芏嚯娮赢a(chǎn)品都離不開這種東西,不過它生產(chǎn)起來的要求是比較高的,那么芯片廠房的潔凈度是要達(dá)到多少級(jí)的呢?今天合潔科技電子凈化工程就跟大家講解下吧!

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  芯片廠房的潔凈度一般要求是百級(jí),當(dāng)然具體看是哪類產(chǎn)品,如果要求不高的廠房,等級(jí)也可以適當(dāng)放寬。半導(dǎo)體材料電子器件工作環(huán)境要求的氣體潔凈度等級(jí)關(guān)鍵在于半導(dǎo)體材料電子器件的集成化度,不一樣的工藝流程的氣體潔凈度等級(jí)是根據(jù)可能環(huán)境污染的幾率和對(duì)電子元器件的潛在性常見故障明確的。

  半導(dǎo)體材料生產(chǎn)制造對(duì)氣體潔凈度有高規(guī)定,基本建設(shè)的芯片廠房達(dá)‘百級(jí)’潔凈度。說白了“百級(jí)”潔凈,即每立方英寸空氣中粒度高于或等于0.5μm的顆??倲?shù)不超過100個(gè),媲美最大潔凈等級(jí)規(guī)范。為確?!鞍偌?jí)”潔凈,芯片廠房選用華夫板(運(yùn)用混凝土樓板內(nèi)孔眼產(chǎn)生送風(fēng)安全通道的混凝土樓板)高精度工程施工,并創(chuàng)建潔凈中央空調(diào)排風(fēng)系統(tǒng)產(chǎn)生送風(fēng)安全通道。芯片廠房華夫板厚度70CM,能抗微震;華夫板總面積達(dá)1410平米,在其中混凝土澆筑有35000個(gè)直徑35CM的奇氏筒,等同于每2平米就會(huì)有5個(gè)用以通氣的環(huán)形孔眼。到時(shí)候,芯片生產(chǎn)線布局于華夫板上,白車身間運(yùn)用家用新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)氣口確保正壓力,并根據(jù)華夫板送風(fēng)安全通道排氣管,最后確保生產(chǎn)車間潔凈度。

  目前世界各國(guó)的電子器件生產(chǎn)制造企業(yè)、生產(chǎn)廠家按分別生產(chǎn)制造的產(chǎn)品種類、采用的制作工藝技術(shù)性、生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)制造用原輔材料及其潔凈室的社會(huì)經(jīng)驗(yàn)等經(jīng)濟(jì)發(fā)展地明確電子器件潔凈廠房各工藝流程(屋子)要求的氣體潔凈度等級(jí)。據(jù)統(tǒng)計(jì),各電子器件生產(chǎn)制造企業(yè)、生產(chǎn)廠家在設(shè)計(jì)方案修建電子器件車間凈化工程項(xiàng)目的潔凈廠房時(shí)采用的氣體潔凈度等級(jí)、潔凈室的平面圖和空間規(guī)劃、空氣凈化設(shè)備、潔凈室工程建筑等層面的技術(shù)規(guī)范、技術(shù)措施均各有特色、各有不同。

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